ნახევარგამტარული აღჭურვილობისა და სუფთა ოთახებისთვის განკუთვნილი 5-ღერძიანი დაფქული კერამიკული იზოლატორები

ნახევარგამტარების წარმოებისა და სუფთა ოთახების გარემოს მაღალი ფსონების მქონე სამყაროში, ყველა კომპონენტმა უნდა უზრუნველყოს უნაკლო მუშაობა.PFT, ჩვენ სპეციალიზირებულები ვართ ხელნაკეთობებში5-ღერძიანი დაფქული კერამიკული იზოლატორებირომლებიც სიზუსტესა და საიმედოობას ხელახლა განსაზღვრავენ. 20+-ზე მეტიმრავალწლიანი გამოცდილების საფუძველზე, ჩვენი გადაწყვეტილებები შემუშავებულია ნახევარგამტარული აღჭურვილობის მკაცრი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად, რაც უზრუნველყოფს თერმულ სტაბილურობას, ელექტრო იზოლაციას და დაბინძურებისგან თავისუფალ მუშაობას ულტრამგრძნობიარე გარემოში.

რატომ უნდა აირჩიოთ ჩვენი 5-ღერძიანი დაფქული კერამიკული იზოლატორები?

1.მოწინავე წარმოების შესაძლებლობები

ჩვენი ობიექტი აღჭურვილიაუახლესი 5-ღერძიანი CNC საღარავი მანქანები, რაც მიკრონის დონის სიზუსტეს უზრუნველყოფს ისეთი მოწინავე კერამიკის ფორმირებაში, როგორიცაა ალუმინი (Al₂O₃), სილიციუმის კარბიდი (SiC) და ალუმინის ნიტრიდი (AlN). ტრადიციული მეთოდებისგან განსხვავებით, 5-ღერძიანი დამუშავება კომპლექსური გეომეტრიის გამოყენების საშუალებას იძლევა, რაც კრიტიკულია ისეთი კომპონენტებისთვის, როგორიცაა ვაფლის ამწევი ქინძისთავები, დეპონირების კამერის ნაწილები და პლაზმურად მდგრადი იზოლატორები.

ძირითადი მახასიათებლები:

•სიზუსტე:±0.005 მმ ტოლერანტობა ASML ლითოგრაფიის ხელსაწყოებში ან Lam Research-ის გრავირების სისტემებში შეუფერხებელი ინტეგრაციისთვის.
•მასალის მრავალფეროვნება:ოპტიმიზებულია 99.8% ალუმინის ოქსიდის, მაღალი სისუფთავის SiC-ის და სხვა მოწინავე კერამიკისთვის.
•ზედაპირის დასრულება:Ra <0.2μm ISO 1 კლასის სუფთა ოთახებში ნაწილაკების წარმოქმნის მინიმიზაციისთვის.

2.საკუთრების პროცესის ინჟინერია

ჩვენმა ინჟინრებმა შეიმუშავესდახურული ციკლის პროცესის კონტროლირომლებიც ეგუებიან კერამიკის სიმყიფეს დამუშავების დროს. მშრალი დაფქვის ტექნიკისა და რეალურ დროში ვიბრაციის ჩამხშობი ტექნიკის კომბინირებით, ჩვენ მივაღწევთ ბზარებისგან თავისუფალ ზედაპირებს და კომპონენტების სიცოცხლის ხანგრძლივობის გაზრდას - ექსტრემალური თერმული ციკლის დროსაც კი (1600°C-მდე).

ინოვაციების ყურადღების ცენტრში:

•სტრესის შემსუბუქების პროტოკოლები:CVD აპლიკაციებისთვის AlN იზოლატორებში მიკრობზარების მინიმიზაცია.
•დამუშავების შემდგომი დამუშავება:HIP (ცხელი იზოსტატიკური დაწნეხვა) ზრდის სიმკვრივეს და კოროზიისადმი მდგრადობას.

3.მკაცრი ხარისხის უზრუნველყოფა

ყველა იზოლატორი განიცდის12-ეტაპიანი შემოწმება, მათ შორის:

•CMM (კოორდინატების საზომი მანქანა)კრიტიკული განზომილებების ვალიდაცია.
•ჰელიუმის გაჟონვის ტესტირებავაკუუმთან თავსებადობისთვის.
•EDS (ენერგიის დისპერსიული რენტგენის სპექტროსკოპია)მასალის სისუფთავის დასადასტურებლად.

ჩვენიISO 9001/14001 სერტიფიცირებული სისტემაუზრუნველყოფს მიკვლევადობას ნედლეულის შესყიდვიდან (რომელიც მოწოდებულია პირველი დონის მომწოდებლებისგან, როგორიცაა CoorsTek) საბოლოო შეფუთვამდე.

გამოყენება: სადაც სიზუსტე ხვდება შესრულებას

ჩვენი იზოლატორები სანდოა:

•გრავირებისა და დეპონირების ინსტრუმენტები:SiC-ით დაფარული კომპონენტები პლაზმური წინააღმდეგობისთვის Applied Materials™ მოდულებში.
•იონური იმპლანტატორები:ანტისტატიკური საფარით დაფარული ალუმინის ამწევი ქინძისთავები ვაფლის სრიალის თავიდან ასაცილებლად.
•მეტროლოგიური სისტემები:დაბალი თერმული გაფართოების იზოლატორები EUV ლითოგრაფიის ეტაპებისთვის.

შემთხვევის შესწავლა:წამყვანმა ნახევარგამტარულმა მწარმოებლებმა ხელსაწყოების შეფერხების დრო 40%-ით შეამცირეს ჩვენს სპეციალურად შექმნილ SiC შხაპის თავებზე გადასვლის შემდეგ, რომლებმაც კონკურენტების ნაწილებს 300 მმ ვაფლის დამუშავების სფეროში აჯობეს.

წარმოების მიღმა: პარტნიორული მიდგომა

•სწრაფი პროტოტიპირება:გამოაგზავნეთ თქვენი CAD ფაილები და მიიღეთ ფუნქციური პროტოტიპები 7 დღეში.
•ადგილზე სუფთა ოთახის შეფუთვა:ინსტრუმენტებთან პირდაპირი ინტეგრაციისთვის, სურვილისამებრ, მე-10 კლასის სუფთა ოთახის ასამბლეა.
•უვადო ტექნიკური მხარდაჭერა:ჩვენი ინჟინრები უზრუნველყოფენ ცვეთის ანალიზისა და ხელახალი დამუშავების მომსახურებას კომპონენტების სასიცოცხლო ციკლის გასახანგრძლივებლად.